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產(chǎn)品名稱:
WATTY/氣體加熱器 S/M/L系列
產(chǎn)品型號(hào):
WEX-S* -3*
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡單介紹
WATTY/氣體加熱器 S/M/L系列，半導(dǎo)體·FPD制造用*高純度加熱，*適合提供熱處理爐用氛，S型流量10L、L型流量100L，使用溫度300℃。
WATTY/氣體加熱器 S/M/L系列
的詳細(xì)介紹
WATTY/氣體加熱器 S/M/L系列 產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、S/M/L接線板采用EP管結(jié)構(gòu)
?接頭和配管的連接部位為全不銹鋼（SUS316L）制。
?被加熱槽在不接觸加熱器表面的情況下被加熱。在清潔的配管內(nèi)移送過程中，在清潔的狀態(tài)下被加熱。
2、小型輕量高效率
?分別實(shí)現(xiàn)*佳規(guī)格，*小流量10L/min~*大流量100L/min，*高使用溫度可達(dá)到300℃的產(chǎn)品。
3、標(biāo)準(zhǔn)配備熱電偶、恒溫器
?標(biāo)準(zhǔn)裝備有溫度控制、防止過升溫的考慮。接線也很簡單。
4、入口/出口接頭可更改
?標(biāo)準(zhǔn)接頭為UJR1/4Female賽斯。
?對(duì)應(yīng)1/4~1/2刀槽的入口/出口刀槽
仕様
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タイプ
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Sタイプ
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Mタイプ
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Lタイプ
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WEX-S* -2*
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WEX-S* -3*
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WEX-M* -2*
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WEX-M* -3*
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WEX-L* -3*
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加熱可能流體
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不活性ガス
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*高使用溫度
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200℃
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300℃
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200℃
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300℃
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300℃
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定格流量
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?10L/min
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?50L/min
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?100L/min
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定格容量
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130W
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190W
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400W
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560W
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1300W
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*大動(dòng)作圧力
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0.5Mpa
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標(biāo)準(zhǔn)継手
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UJR"1/4メス
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UJR"3/8メス
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接ガス部材質(zhì)
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SUS316L（WEP仕様）
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リークレート
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1 × 1010Pa??/sec以下
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電源
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AC100又はAC200
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熱電対
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Kタイプ クラス2
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サーモスタット
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ディスク型
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ブロック型
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ディスク型
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ブロック型
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ブロック型
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本體外形寸法（H×W×D）
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75×75×98
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96×102×128
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125.5×100×115
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155.5×130×145
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178×150×165
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本體重量
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約1kg
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約1.2kg
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約2kg
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約2.3kg
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約4kg
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結(jié)線方法
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コネクタ取出し
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リード線2m
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コネクタ取出し
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リード線2m
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コネクタ取出し
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標(biāo)準(zhǔn)付屬品
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※1
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※4
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※2
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※5
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※3
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※1 サーモ?電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×1
※2 サーモ?電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×2
