RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭 圓晶清洗 L40系列（單通道）
規(guī)格：
流體：純水，藥液，空氣，真空 *大壓力：-0.095-0.6Mpa *大通路：1 *大轉(zhuǎn)速：600min-1 主要途徑與特點(diǎn)：
晶圓清洗時(shí)為旋轉(zhuǎn)刷提供純水或清洗液時(shí)使用。 或者、精磨、粗磨等各種裝置的晶圓真空夾緊時(shí)使用。 氟化樹脂的構(gòu)造、流路中沒有金屬粒子溶出隱患。還有使用了強(qiáng)化研磨粉或研磨液吸入現(xiàn)象的陶瓷密封面。
應(yīng)用端設(shè)備對(duì)象：精磨/粗磨、晶圓清洗裝置、高速旋轉(zhuǎn)托盤、CMP裝置
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